适用于大多数样品，包括薄片、粉末、碎片、透明与非透明样品，无需对样品进行喷碳或喷金处理  

可通过不同大小的光孔对矿物或试样进行微区分析（小至50~100μm）

可通过对束斑大小的调节，得到矿物未知成分的平均值 

电子束激发X射线荧光强度高，强度要大于X射线激发源的激发强度约4-5个数量级，测试时间短 

电子束入射样品深度很浅（仅仅为1-2μm左右），实现表面分析。

除激发的特征X射线被探测以外，没有其他的噪声信号被探测，分析结果准确 

探测器可探测的元素范围为11(Na)～92(U) 

对Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn等主量元素的分析结果谱线重复性好。

全自动分析内建诊断功能，操作简便。